ENGLISH

中文：椭圆偏振测量术；英文：ellipsometry

关键词

解释

简称“偏振测量术” “椭偏术”。利用椭圆偏振光在遇到样品被反射散射或透射时，其偏振状态的改变而实现的一种测试技术。常用于测量薄膜的厚度、折射率等光学常数，并广泛用于生物学、半导体物理、腐蚀与表面科学以及电化学等领域。

相关词条

展示全部